Микроэлектромеханикалық жүйелер (МЭМЖ) (mikroelectromechanical system, MEMS) - механикалық және электронды құрылғылар бір жерде байланысатын кішкентай құрылғы.
Әдетте көлемі оннан бірнеше жүз мкм-ға жететін жартылай өткізгіш чип болып келеді. МЭМЖ-ға арналған типтік қолданбалы құрылғыларға сенсорлар, тетіктер және қолданбалы элементтер кіреді.
Толығырақ: https://kk.wikipedia.org/wiki/%D0%9C%D0%B8%D0%BA%D1%80%D0%BE%D1%8D%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%85%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D0%BA%D0%B0%D0%BB%D1%8B%D2%9B_%D0%B6%D2%AF%D0%B9%D0%B5%D0%BB%D0%B5%D1%80
